シリコンウエハ

高純度の多結晶シリコンの代表的な製造方法はどれか。

  1. Aボッシュ法
  2. Bシーメンス法(トリクロロシランの水素還元による析出)
  3. Cダマシン法
答えと解説を見る

正解:B. シーメンス法(トリクロロシランの水素還元による析出)

シーメンス法では、金属シリコンを塩化水素と反応させてトリクロロシランにし、蒸留で高純度化したあと、加熱したシリコン棒の上で水素と反応させて高純度のシリコンを析出させます。こうしてつくった多結晶シリコンが、CZ法などの原料になります。

この分野を解く 分野ページへ

シリコンウエハのほかの問題

  1. 装置の状態確認や膜厚の測定などのために、製品とは別に工程に流すウエハを何と呼ぶか。
  2. シリコンウエハに高い平坦度が求められる主な理由として正しいものはどれか。
  3. シリコンのインゴットを、一度に多数のウエハにスライスするために一般的に使われる装置はどれか。
  4. ウエハの外周を面取り(ベベル加工)する主な目的はどれか。
  5. CZ法でp型のシリコン結晶をつくるとき、融液に添加する代表的な不純物はどれか。