シリコンウエハ 高純度の多結晶シリコンの代表的な製造方法はどれか。 Aボッシュ法 Bシーメンス法(トリクロロシランの水素還元による析出) Cダマシン法 答えと解説を見る 正解:B. シーメンス法(トリクロロシランの水素還元による析出) シーメンス法では、金属シリコンを塩化水素と反応させてトリクロロシランにし、蒸留で高純度化したあと、加熱したシリコン棒の上で水素と反応させて高純度のシリコンを析出させます。こうしてつくった多結晶シリコンが、CZ法などの原料になります。