실리콘 웨이퍼

CMOS LSI용 실리콘 웨이퍼에서 일반적으로 사용되는 면방위는 무엇인가?

  1. A(111)
  2. B(100)
  3. C(211)
정답과 해설 보기

정답: B. (100)

CMOS LSI에는 (100)면 웨이퍼가 일반적으로 사용됩니다. (100)면은 표면 원자당 댕글링 본드가 적고 SiO2와의 계면 준위 밀도가 (111)면의 약 1/10로 낮아, 문턱 전압이 안정되고 MOS 트랜지스터의 특성이 좋아지기 때문입니다. 전자의 이동도도 (100)면이 높습니다. (111)면은 산화 속도가 빨라 예전에 바이폴라 소자 등에 사용되었습니다.

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