シリコンウエハの抵抗率と、添加した不純物濃度の関係として正しいものはどれか。

正解：C. 不純物濃度が高いほど抵抗率は低くなる

不純物を多く添加するとキャリアが増えるため、抵抗率は低くなります。ウエハの抵抗率は不純物濃度の目安として使われ、仕様として指定されます。ただし、不純物濃度が非常に高くなると不純物散乱で移動度が下がるため、抵抗率は単純な反比例にはなりません。