シリコンウエハ

300 mmシリコンウエハの標準的な厚さに最も近いものはどれか。

  1. A約5 mm
  2. B約100 µm
  3. C約775 µm
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正解：C. 約775 µm

300 mmウエハの標準的な厚さは約775 µmです。口径が大きいほど、自重によるたわみや割れを防ぐために厚くなります(200 mmウエハは約725 µm)。製品によっては、後工程で裏面を研削して数十µmまで薄くします。

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