薄いゲート酸化膜の表面に、プラズマで生成した窒素を導入する処理を何と呼ぶか。

正解：C. プラズマ窒化

プラズマ窒化では、窒素のプラズマでつくった活性な窒素を酸化膜の表面付近に導入し、酸窒化膜(SiON)にします。熱による窒化より低温で、窒素を表面付近に集中させられるため、界面の特性を損なわずにホウ素の突き抜けを抑え、誘電率も高められます。