高い圧力の酸化雰囲気で熱酸化を行う利点として正しいものはどれか。

正解：B. 低い温度でも速く酸化でき、熱による不純物の拡散を抑えられる

酸化剤の圧力を高くすると、酸化膜中に溶け込む酸化剤の量が増えるため、酸化速度が上がります。その分温度を下げても同じ厚さの膜が得られるため、熱による不純物の拡散や結晶欠陥の発生を抑えられます。