ウエハ表面の近くで水素と酸素を反応させ、短時間で良質な薄い酸化膜をつくる方法はどれか。

正解：B. ISSG(インサイチュ・スチーム・ジェネレーション)酸化

ISSG酸化では、減圧したチャンバー内で水素と酸素を加熱したウエハの表面近くで反応させます。発生した水蒸気や酸素ラジカルによって、短時間で良質な薄い酸化膜を形成でき、角の部分も丸く酸化しやすいため、STIのライナー酸化膜などに使われます。