계측과 분석
SEM이나 TEM과 조합하여 사용되는 EDX(에너지 분산형 X선 분광)로 알 수 있는 것은?
- A표면 거칠기
- B시료에 포함된 원소의 종류와 양
- C막의 내부 응력
정답과 해설 보기
정답: B. 시료에 포함된 원소의 종류와 양
전자빔을 시료에 쏘면 안쪽 껍질의 전자가 튀어나가고, 거기에 바깥쪽 전자가 떨어질 때 원소마다 고유한 에너지의 특성 X선이 나옵니다. EDX는 그 에너지를 분석하여 원소의 종류와 양을 조사합니다. 전자현미경으로 본 곳의 조성을 바로 알 수 있어 이물이나 불량 부위의 분석에 널리 사용됩니다. 검출 한계는 0.1 wt% 정도이므로, 미량 불순물의 분석에는 SIMS 등을 사용합니다.