계측과 분석
엘립소메트리(분광 엘립소메트리)로 주로 측정하는 것은?
- A시료에 전류를 흘렸을 때의 저항
- B반사광의 편광 상태 변화로 구하는 박막의 두께와 굴절률
- C이온으로 깎아낸 시료의 질량 스펙트럼
정답과 해설 보기
정답: B. 반사광의 편광 상태 변화로 구하는 박막의 두께와 굴절률
엘립소메트리는 편광된 빛을 비스듬히 입사시켜 반사광의 p 편광과 s 편광의 진폭비(Ψ)와 위상차(Δ)를 측정하고, 광학 모델로 계산한 값에 맞춰(피팅하여) 박막의 두께와 굴절률을 구하는 방법입니다. 파장을 바꿔 측정하는 분광 엘립소메트리에서는 다층막도 해석할 수 있으며 0.1 nm 이하의 재현성을 얻을 수 있습니다. 비접촉·비파괴이므로 산화막 등의 막 두께 관리에 널리 사용됩니다. 저항이나 질량 스펙트럼은 측정하지 않습니다.