계측과 분석
주사전자현미경(SEM)의 원리로 올바른 것은?
- A가늘게 모은 전자빔을 시료 표면에서 주사하고, 발생하는 2차 전자 등을 검출하여 표면 형상을 관찰한다
- BX선 회절로 결정 구조를 조사한다
- C빛의 간섭으로 막 두께를 측정한다
정답과 해설 보기
정답: A. 가늘게 모은 전자빔을 시료 표면에서 주사하고, 발생하는 2차 전자 등을 검출하여 표면 형상을 관찰한다
SEM은 가늘게 모은 전자빔을 시료 표면에서 주사하고, 거기서 나오는 2차 전자나 후방 산란 전자를 검출하여 영상을 만듭니다. 에너지가 낮은 2차 전자는 표면의 아주 얕은 곳에서만 빠져나올 수 있어 요철을 잘 나타내고, 후방 산란 전자는 무거운 원소일수록 많이 나와 조성의 차이를 나타냅니다. 분해능은 1 nm 안팎입니다. 공장에서는 낮은 가속 전압으로 패턴의 선폭을 측정하는 CD-SEM이 공정 관리에 사용됩니다. X선 회절이나 빛의 간섭은 다른 기법입니다.