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EUV 마스크에서 흡수체 패턴의 두께가 파장에 비해 무시할 수 없어, 비스듬히 입사하는 빛이 그림자를 만드는 등 상에 영향을 주는 현상을 무엇이라고 하는가?
- A블루밍
- B마스크 3D 효과
- C로딩 효과
정답과 해설 보기
정답: B. 마스크 3D 효과
EUV 마스크는 반사형이며 빛이 약 6° 기울어 입사합니다. 흡수체의 두께가 50~70 nm로 파장 13.5 nm보다 두꺼워서, 흡수체의 측면이 그림자를 만들거나 위상이 변하여 패턴의 방향에 따라 치수나 위치가 어긋나고, 초점의 최적 위치도 패턴에 따라 달라집니다(마스크 3D 효과). 흡수율이 높아 얇게 만들 수 있는 흡수체 재료나 위상 시프트형 EUV 마스크의 개발, OPC에 의한 보정이 이루어지고 있습니다.
- A. 블루밍은 이미지 센서에서 전하가 넘치는 현상입니다.
- B. 올바릅니다. 마스크의 입체적인 구조에 의한 영향입니다.
- C. 로딩 효과는 가공 면적에 따라 처리 속도가 달라지는 현상입니다.