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下列哪一家企業事實上是EUV曝光機的唯一供應商？
- AIntel（美國）
- BASML（荷蘭）
- C台積電（台灣）
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正確答案：B. ASML（荷蘭）
EUV曝光機事實上只有荷蘭的ASML一家在開發與供應。這是集合了各國技術的機台，例如德國蔡司（Zeiss）的多層膜反射鏡、美國Cymer使用錫的光源等，由超過10萬個零件組成，據稱每台超過200億日圓（High-NA約500億日圓）。其供應左右先進半導體的產能，因此也成為出口管制的對象。台積電與Intel是購買機台來使用的一方。
- A. Intel是使用EUV機台的半導體製造商。
- B. 正確。ASML事實上是唯一的供應商。
- C. 台積電是使用EUV機台的晶圓代工廠。