微影
半導體製造中微影的角色，下列何者正確？
- A利用光等將電路圖案複製到晶圓上的光阻
- B將雜質植入晶圓
- C將晶圓研磨變薄
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正確答案：A. 利用光等將電路圖案複製到晶圓上的光阻
微影是利用光（曝光），將光罩上所繪的電路圖案複製到塗佈在晶圓上之光阻的製程。以複製下來的光阻圖案作為遮罩，進行蝕刻與離子植入。先進邏輯製程有數十道微影製程，設備價格也占製造成本的很大比例，因此是左右微縮進展的最重要製程之一。
- A. 正確。這是將圖案複製到光阻的製程。
- B. 植入雜質的是離子植入。
- C. 磨削晶圓的是研磨或CMP的製程。