포토리소그래피
반도체 제조에서 리소그래피의 역할로 올바른 것은?
- A회로 패턴을 빛 등을 사용하여 웨이퍼 위의 레지스트에 옮긴다
- B불순물을 웨이퍼에 주입한다
- C웨이퍼를 얇게 깎는다
정답과 해설 보기
정답: A. 회로 패턴을 빛 등을 사용하여 웨이퍼 위의 레지스트에 옮긴다
리소그래피는 마스크에 그려진 회로 패턴을 빛(노광)을 사용하여 웨이퍼 위에 도포한 레지스트에 옮기는 공정입니다. 옮겨진 레지스트 패턴을 마스크로 삼아 식각이나 이온 주입을 수행합니다. 첨단 로직에서는 수십 회의 리소그래피 공정이 있고 장비 가격도 제조 비용에서 큰 비율을 차지하므로, 미세화의 진행을 좌우하는 가장 중요한 공정 중 하나입니다.
- A. 올바릅니다. 패턴을 레지스트에 옮기는 공정입니다.
- B. 불순물을 주입하는 것은 이온 주입입니다.
- C. 웨이퍼를 깎는 것은 연삭이나 CMP 공정입니다.