ダブルパターニング(マルチパターニング)の説明として正しいものはどれか。

正解：B. 1回の露光では解像できない細かいピッチのパターンを、複数回の露光や加工に分けて形成する

ダブルパターニングは、細かすぎて1回では解像できないパターンを、間引いた2つのパターンに分けて別々に露光・加工したり、側壁に成膜したスペーサーを利用したりして形成する技術です。工程数が増えてコストが上がるため、EUV露光の導入が進められてきました。