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더블 패터닝(멀티 패터닝)에 대한 설명으로 올바른 것은?
- A2장의 웨이퍼를 동시에 노광한다
- B1회 노광으로는 해상할 수 없는 미세한 피치의 패턴을 여러 번의 노광이나 가공으로 나누어 형성한다
- C레지스트를 2층으로 겹쳐 바르기만 해도 해상도가 2배가 된다
정답과 해설 보기
정답: B. 1회 노광으로는 해상할 수 없는 미세한 피치의 패턴을 여러 번의 노광이나 가공으로 나누어 형성한다
더블 패터닝은 1회로는 해상할 수 없는 미세한 피치의 패턴을 솎아 낸 2개의 패턴으로 나누어 따로 노광·가공하거나(LELE), 측벽에 성막한 스페이서로 선을 두 배로 늘려(SADP·SAQP) 형성하는 기술입니다. ArF 액침의 한계(피치 약 80 nm)를 넘어 20 nm대의 피치까지 미세화를 진행했지만, 공정 수·마스크 수·비용이 크게 늘어나기 때문에 EUV 노광의 도입이 추진되어 왔습니다.