リソグラフィにおける重ね合わせ(オーバーレイ)精度とは何か。

正解：B. 前の工程でつくったパターンに対して、新しいパターンをどれだけ正確な位置に重ねられるか

LSIは何十層ものパターンを重ねてつくるため、各層を前の層に正確に位置合わせする必要があります。そのずれの小ささが重ね合わせ精度です。微細化が進むほど許されるずれは小さくなり、ナノメートル単位の精度が求められています。