リソグラフィ
化学増幅型レジストの特徴として正しいものはどれか。
- A露光しなくても現像で溶ける
- B光ではなく熱だけで反応する
- C露光で発生した酸が、露光後ベーク(PEB)で触媒として働き、少ない露光量で反応を進める
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正解：C. 露光で発生した酸が、露光後ベーク(PEB)で触媒として働き、少ない露光量で反応を進める
化学増幅型レジストでは、露光によって光酸発生剤から酸が生じ、露光後の加熱(PEB)の間にその酸が触媒として繰り返し反応を起こします。1つの光子で多くの反応が進むため感度が高く、KrFやArF、EUVのレジストに広く使われています。