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ArF 액침 노광에 대한 설명으로 올바른 것은?
- A웨이퍼 전체를 물에 담가 현상한다
- B레지스트를 물로 묽게 하여 도포한다
- C투영 렌즈와 웨이퍼 사이를 물로 채워 개구수(NA)를 크게 한다
정답과 해설 보기
정답: C. 투영 렌즈와 웨이퍼 사이를 물로 채워 개구수(NA)를 크게 한다
액침 노광에서는 투영 렌즈와 웨이퍼 사이의 약 1 mm 틈을 공기(굴절률 약 1)보다 굴절률이 높은 초순수(193 nm에서 약 1.44)로 채웁니다. NA = n·sinθ이므로 개구수를 1보다 크게(최대 1.35) 할 수 있어, 같은 193 nm 파장으로도 더 미세한 패턴을 해상할 수 있습니다. 2006년경부터 양산에 도입되었고, 웨이퍼가 빠르게 움직여도 물을 유지하는 노즐 기술이나 물이 잘 스며들지 않는 레지스트 표면층이 개발되었습니다.