イオン注入
シリコンに注入する不純物と導電型の組み合わせとして正しいものはどれか。
- Aリン:p型、ヒ素:p型
- Bボロン:n型、リン:p型
- Cボロン:p型、リン・ヒ素:n型
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正解：C. ボロン:p型、リン・ヒ素:n型
III族のボロンはアクセプタとして働きp型を、V族のリンやヒ素はドナーとして働きn型をつくります。イオン注入では、これらの元素を目的の場所に必要な量だけ打ち込みます。
- A. リンもヒ素もn型をつくります。
- B. ボロンとリンの導電型が逆です。
- C. 正しい。ボロンはp型、リン・ヒ素はn型です。