イオン注入

同じ加速エネルギーでシリコンに注入したとき、ヒ素(質量数75)とリン(質量数31)の飛程の関係として正しいものはどれか。

  1. Aヒ素の方が深く入る
  2. Bどちらも同じ深さに入る
  3. C重いヒ素の方が浅く止まる
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正解：C. 重いヒ素の方が浅く止まる

同じエネルギーなら、重いイオンほどシリコンの原子と衝突してエネルギーを失いやすく、浅い位置で止まります。ヒ素はリンより重いため飛程が短く、浅い接合をつくるのに向いています。

  • A. 重いヒ素の方が浅く止まります。
  • B. 質量が違うので飛程も異なります。
  • C. 正しい。重いイオンほど浅く止まります。
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