イオン注入

イオン注入装置で、加速電圧50 kVで2価のイオン(電荷が2倍)を加速したときのエネルギーはいくらか。

  1. A100 keV
  2. B25 keV
  3. C50 keV
答えと解説を見る

正解：A. 100 keV

イオンが得るエネルギーは、電荷 × 加速電圧 で決まります。1価なら50 keVですが、2価のイオンは電荷が2倍なので100 keVになります。この性質を使うと、装置の最大電圧より高いエネルギーの注入ができます。

  • A. 正しい。2 × 50 kV = 100 keV です。
  • B. 25 keVは電荷を半分にした値です。
  • C. 50 keVは1価のイオンの場合です。
この分野を解く 分野ページへ

イオン注入のほかの問題

  1. MOSFETのしきい値電圧の調整やウェルのような、中程度のドーズ量の注入に主に使われるイオン注入装置はどれか。
  2. 注入されたイオンがシリコンの原子をはじき飛ばしたときに結晶中にできる、空孔と格子間原子の組を何と呼ぶか。
  3. 大電流のイオン注入中にウエハを冷却する主な理由はどれか。
  4. イオン注入でできる結晶の損傷の分布として一般的に正しいものはどれか。
  5. MOSFETのポリシリコンゲート電極を低抵抗にするために、ゲートに不純物を導入する方法として一般的に使われてきたものはどれか。