이온 주입
실리콘에 주입하는 불순물과 도전형의 조합으로 올바른 것은 무엇인가?
- A인: p형, 비소: p형
- B붕소: n형, 인: p형
- C붕소: p형, 인·비소: n형
정답과 해설 보기
정답: C. 붕소: p형, 인·비소: n형
III족인 붕소는 억셉터로서 p형을, V족인 인과 비소는 도너로서 n형을 만듭니다. 그 외에 n형에서는 안티몬, p형에서는 인듐이나 갈륨도 사용되는 경우가 있습니다. 이온 주입에서는 이들 원소를 목적한 위치에 필요한 양만큼 주입하며, nMOS에는 n형 소스·드레인과 p형 웰, pMOS에는 그 반대를 만들어 CMOS를 구성합니다.
- A. 인도 비소도 n형을 만듭니다.
- B. 붕소와 인의 도전형이 반대입니다.
- C. 올바릅니다. 붕소는 p형, 인·비소는 n형입니다.