イオン注入

イオン注入の加速エネルギーを表すときに一般的に使われる単位はどれか。

  1. AΩ(オーム)
  2. BkeV(キロ電子ボルト)
  3. CW(ワット)
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正解：B. keV(キロ電子ボルト)

イオン注入のエネルギーは、1価のイオンを1 Vで加速したときのエネルギーを1 eVとする電子ボルトで表し、一般的な範囲は数keV〜数百keV、高エネルギーでは数MeVです。

  • A. Ωは抵抗の単位です。
  • B. 正しい。keVなどの電子ボルトで表します。
  • C. Wは電力の単位です。
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