イオン注入
CMOSのウェル形成で、高エネルギーのイオン注入を使って、表面より深い位置の不純物濃度を高くしたウェルを何と呼ぶか。
- Aレトログレードウェル
- BLDD
- Cシリサイド
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正解:A. レトログレードウェル
レトログレードウェルは、高エネルギーの注入で深い位置に濃度のピークをもたせたウェルです。表面の濃度はトランジスタの特性に合わせて低めにしつつ、深い位置を高濃度にしてパンチスルーやラッチアップを抑えられます。長時間の熱拡散が不要になる利点もあります。
イオン注入
正解:A. レトログレードウェル
レトログレードウェルは、高エネルギーの注入で深い位置に濃度のピークをもたせたウェルです。表面の濃度はトランジスタの特性に合わせて低めにしつつ、深い位置を高濃度にしてパンチスルーやラッチアップを抑えられます。長時間の熱拡散が不要になる利点もあります。