イオン注入

ソース・ドレインの端に、チャネルと同じ導電型の不純物を斜めに注入するハロー(ポケット)注入の主な目的はどれか。

  1. Aゲート電極の抵抗を下げる
  2. B短チャネル効果を抑える
  3. Cトランジスタを発光させる
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正解:B. 短チャネル効果を抑える

ハロー注入では、ソース・ドレイン端の近くにチャネルと同じ導電型の不純物を局所的に高濃度で入れます。ドレインから広がる空乏層を抑えられるため、ゲート長が短くなってもしきい値電圧の低下やパンチスルーなどの短チャネル効果を抑えられます。

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