이온 주입

CMOS의 웰 형성에서 고에너지 이온 주입을 사용해 표면보다 깊은 위치의 불순물 농도를 높인 웰을 무엇이라 하는가?

  1. A레트로그레이드 웰
  2. BLDD
  3. C실리사이드
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정답: A. 레트로그레이드 웰

레트로그레이드 웰은 수백 keV~MeV급의 고에너지 주입으로 깊은 위치에 농도 피크를 갖게 한 웰입니다. 표면 농도는 트랜지스터 특성에 맞춰 낮게 하면서 깊은 위치를 고농도로 하여 펀치스루와 래치업(기생 사이리스터 동작)을 억제할 수 있습니다. 기존의 확산 웰처럼 1000 ℃ 이상에서 수 시간의 열확산이 필요 없어져 열 예산(thermal budget)과 공정 시간을 크게 줄일 수 있다는 이점도 있습니다.

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