離子佈植
在CMOS的井區形成中,利用高能量離子佈植使比表面更深處的雜質濃度較高的井區,稱為什麼?
- A逆向摻雜井(retrograde well)
- BLDD
- C矽化物
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正確答案:A. 逆向摻雜井(retrograde well)
逆向摻雜井是以數百keV~MeV等級的高能量佈植,在深處形成濃度峰值的井區。表面濃度配合電晶體特性維持在較低,同時使深處為高濃度,可抑制貫穿與閂鎖(寄生閘流體的動作)。也具有不像以往的擴散井需要在1000 ℃以上進行數小時熱擴散的優點,可大幅減少熱預算與製程時間。