イオン注入

浅いp型層をつくるために、ボロン単体ではなくBF2⁺イオンを注入することがある理由はどれか。

  1. ABF2⁺の方がn型の不純物として働くため
  2. BBF2⁺の方が装置を安くできるため
  3. C分子イオンで重いため、同じ加速エネルギーでもボロンが浅く入るため
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正解：C. 分子イオンで重いため、同じ加速エネルギーでもボロンが浅く入るため

ボロンは軽く、低いエネルギーでも深く入りやすい不純物です。BF2⁺として注入すると、分子全体の質量が大きいため、ボロン原子に分配されるエネルギーが小さくなり、浅く注入できます。極めて低いエネルギーのビームは扱いにくいため、この方法が使われてきました。

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