配線プロセス

同じ層で隣り合う配線の間隔を半分にすると、その配線間の容量はおよそどうなるか。(平行平板として近似する)

  1. A約半分になる
  2. B変化しない
  3. C約2倍になる
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正解:C. 約2倍になる

平行平板の容量は C = εS/d で、間隔dに反比例します。配線の間隔を半分にすると、配線間の容量は約2倍になります。微細化で配線の間隔が狭くなるほど容量が増え、遅延や消費電力、クロストークが大きくなるため、Low-k材料などで対策します。

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