배선 공정

같은 층에서 인접한 배선의 간격을 절반으로 하면 그 배선 간 용량은 대략 어떻게 되는가? (평행 평판으로 근사한다)

  1. A약 절반이 된다
  2. B변하지 않는다
  3. C약 2배가 된다
정답과 해설 보기

정답: C. 약 2배가 된다

평행 평판의 용량은 C = εS/d로 간격 d에 반비례하므로, 배선 간격을 절반으로 하면 배선 간 용량은 약 2배가 됩니다. 미세화로 배선 피치가 줄어들면 가로 방향 용량이 전체의 대부분을 차지하게 되어 지연, 소비 전력, 크로스토크가 커집니다. 용량은 유전율 ε에도 비례하므로 Low-k 재료나 에어 갭으로 유전율을 낮추는 것이 대책이 됩니다. 실제 배선에서는 가장자리의 전계(프린지)도 더해집니다.

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