配線製程

在同一層中,將相鄰導線的間距縮為一半,該導線間的電容約會如何變化?(以平行板近似)

  1. A約變為一半
  2. B不變
  3. C約變為2倍
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正確答案:C. 約變為2倍

平行板的電容為C = εS/d,與間距d成反比,因此將導線間距縮為一半,導線間電容約變為2倍。隨著微縮使導線間距縮小,橫向電容占整體的大部分,延遲、功耗與串音都會變大。電容也與介電常數ε成正比,因此以Low-k材料或空氣間隙降低介電常數便成為對策。實際的導線還要加上邊緣電場(fringe)的影響。

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