配線プロセス
抵抗率2 µΩ·cmの配線で、長さ1 mm、幅と厚さがそれぞれ100 nmのときの抵抗はおよそいくらか。
- A約2 Ω
- B約2 kΩ
- C約2 MΩ
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正解:B. 約2 kΩ
抵抗は R = ρL / (W × T) で求めます。ρ = 2×10⁻⁸ Ω·m、L = 1×10⁻³ m、W × T = (1×10⁻⁷)² = 1×10⁻¹⁴ m² なので、R = 2×10⁻⁸ × 1×10⁻³ ÷ 1×10⁻¹⁴ = 2000 Ω、約2 kΩです。細い配線は、短くても大きな抵抗をもつことがわかります。