先端トランジスタ(FinFET・GAA)

「High-kゲート絶縁膜」のkが表すものはどれか。

  1. A結晶の硬さ
  2. B熱伝導率
  3. C比誘電率(誘電率の大きさ)
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正解：C. 比誘電率(誘電率の大きさ)

High-kのkは比誘電率を表し、High-k材料はSiO2(約3.9)より比誘電率の大きい絶縁材料です。代表的なものはハフニウム系の酸化物(比誘電率20程度)で、物理的に厚い膜でも大きなゲート容量が得られます。

  • A. 硬さを表す記号ではありません。
  • B. 熱伝導率を表す記号ではありません。
  • C. 正しい。kは比誘電率を表します。
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