先端トランジスタ(FinFET・GAA)

フィンの高さ50 nm、幅6 nmのFinFETで、フィン1本あたりの実効的なチャネル幅(ゲートが囲む周の長さ)に最も近いものはどれか。

  1. A106 nm
  2. B6 nm
  3. C56 nm
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正解:A. 106 nm

FinFETではゲートがフィンの両側面と上面を囲むため、1本あたりの実効チャネル幅は、およそ 2 × 高さ + 幅 = 2 × 50 + 6 = 106 nm になります。フィンを高くすると、占有面積を増やさずに駆動電流を増やせます。

  • A. 正しい。2 × 50 + 6 = 106 nm です。
  • B. 6 nmはフィンの幅だけで、側面を数えていません。
  • C. 56 nmは片側の側面と上面だけを数えた値です。
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