첨단 트랜지스터(FinFET과 GAA)

나노시트형 GAA에서 각 시트 사이의 게이트와 소스·드레인 사이에 두는 절연물(이너 스페이서)의 주된 역할은?

  1. A게이트와 소스·드레인 사이의 기생 용량을 줄이고 단락을 방지한다
  2. B채널을 발광시킨다
  3. C전류를 증폭한다
정답과 해설 보기

정답: A. 게이트와 소스·드레인 사이의 기생 용량을 줄이고 단락을 방지한다

나노시트형 GAA에서는 시트 사이의 틈에 게이트가 들어가 수 nm의 거리에서 소스·드레인과 마주 봅니다. 이너 스페이서는 SiGe의 끝을 조금 파 내어(리세스) 생긴 공간에 질화막 등의 절연물을 채운 것으로, 게이트와 소스·드레인 사이의 기생 용량을 작게 하고 단락을 방지합니다. SiGe 제거 시에 소스·드레인을 보호하는 식각 정지 역할도 겸합니다.

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