ゲートを絶縁膜で覆っておき、コンタクトの位置が多少ずれてもゲートとショートしないようにする技術はどれか。

正解：C. 自己整合コンタクト(SAC)

ゲートの上面と側面を窒化膜などで覆っておくと、コンタクトのエッチングがゲートの位置にずれても、絶縁膜で止まってゲートに届きません。この自己整合コンタクトにより、ゲートとコンタクトの間隔を詰めても短絡を防げ、セルの面積を小さくできます。