先端トランジスタ(FinFET・GAA) 微細なトランジスタで、チャネル中の不純物原子の数や位置の統計的なばらつきによってしきい値電圧がばらつく現象を何と呼ぶか。 Aランダムドーパントゆらぎ(RDF) Bエレクトロマイグレーション C経時絶縁破壊(TDDB) 答えと解説を見る 正解：A. ランダムドーパントゆらぎ(RDF) トランジスタが小さくなると、チャネル中に含まれる不純物原子は数十〜数百個程度になり、その数や配置の偶然のばらつきがしきい値電圧に大きく影響します。チャネルの不純物を減らせるFinFETやFD-SOIは、この点でも有利です。