첨단 트랜지스터(FinFET과 GAA)

High-k/메탈 게이트 트랜지스터에서 문턱 전압을 조정하는 주된 수단의 하나는?

  1. A게이트 전극에 사용하는 금속 재료의 일함수를 선택한다
  2. B웨이퍼의 직경을 바꾼다
  3. C패키지의 재료를 바꾼다
정답과 해설 보기

정답: A. 게이트 전극에 사용하는 금속 재료의 일함수를 선택한다

메탈 게이트에서는 게이트 전극 금속의 일함수에 따라 플랫밴드 전압이 달라져 문턱 전압이 정해집니다. nMOS에는 전도대에 가까운 일함수(약 4.1 eV, TiAl 등), pMOS에는 가전자대에 가까운 일함수(약 5.1 eV, TiN 등)가 적합합니다. 수 nm 단위의 얇은 금속층의 조합이나 두께를 바꾸어 고속용·저누설용 등 여러 문턱값을 만들어 나누고 있습니다.

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