先進電晶體（FinFET與GAA）
下列何者屬於 MOSFET 的短通道效應？
- A縮短閘極長度時，閘極電容變為無限大
- B縮短閘極長度時，通道的遷移率必定變為兩倍
- C縮短閘極長度時，臨界電壓下降，關閉時的漏電流增加
查看答案與解析
正確答案：C. 縮短閘極長度時，臨界電壓下降，關閉時的漏電流增加
閘極長度縮短後，源極與汲極的空乏層相對變大，通道中一部分電荷改由源極、汲極而非閘極來控制。結果會發生臨界電壓下降（roll-off）、因汲極電壓導致的臨界電壓下降（DIBL）、次臨界擺幅惡化、關閉時漏電流增加等現象。另一個問題是，只要製造變異使閘極長度稍有改變，特性就會大幅變動。