박막 증착(CVD와 PVD)

표면 재료의 차이를 이용해 특정 위치에만 막을 성장시키는 기술은?

  1. A스퍼터링
  2. B전면 성막
  3. C영역 선택 성막(에리어 셀렉티브 디포지션)
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정답: C. 영역 선택 성막(에리어 셀렉티브 디포지션)

영역 선택 성막은 금속 위에는 성막되고 절연막 위에는 성막되지 않는 것처럼, 하지 재료에 따른 반응 용이성의 차이를 이용해 필요한 곳에만 막을 만드는 기술입니다. 성막시키고 싶지 않은 면을 자기조립 단분자막(SAM) 등으로 덮어 반응을 방지하는 방법도 있습니다. 리소그래피나 식각 공정을 줄일 수 있고 정렬 오차도 없기 때문에, 미세 배선 등으로의 응용이 연구되고 있습니다.

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