多くの成膜を真空の装置の中で行う主な理由はどれか。

正解：C. 膜への不純物の混入や、原料の粒子と気体分子の不要な衝突を防ぐため

大気中には酸素や水分、パーティクルがあり、膜が汚染されたり酸化されたりします。また、スパッタや蒸着では、飛んでいく原子が気体分子と衝突すると基板に届きにくくなります。そのため、多くの成膜は真空や減圧の装置の中で行われます。

• A. ウエハの重さとは関係ありません。
• B. 騒音を減らすためではありません。
• C. 正しい。汚染や不要な衝突を防ぐためです。