成膜(CVD・PVD)
LSIの製造工程の基本的な組み立て方として正しいものはどれか。
- A部品を接着剤で貼り合わせてつくる
- B成膜・リソグラフィ・エッチングなどの工程を何十回も繰り返して層を重ねていく
- Cウエハを一度だけ加工して完成させる
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正解：B. 成膜・リソグラフィ・エッチングなどの工程を何十回も繰り返して層を重ねていく
LSIは、膜をつける(成膜)、パターンを写す(リソグラフィ)、不要な部分を削る(エッチング)、不純物を入れる、洗浄する、といった工程を何十回、何百回と繰り返して、トランジスタと何層もの配線を積み重ねてつくります。
- A. LSIの内部は貼り合わせではなく、工程の繰り返しでつくります。
- B. 正しい。工程を繰り返して層を重ねます。
- C. 一度の加工ではつくれません。