スパッタリングの「スパッタ収率」の意味として正しいものはどれか。

正解：C. ターゲットに入射したイオン1個あたりに、はじき出される原子の数

スパッタ収率は、ターゲットに衝突したイオン1個あたりに、何個の原子がはじき出されるかを表します。イオンのエネルギーや質量、入射角、ターゲットの材料によって変わり、成膜速度を決める要素の一つです。

• A. 時間ではありません。
• B. 良品の割合は歩留まりです。
• C. 正しい。イオン1個あたりのはじき出される原子数です。