成膜(CVD・PVD)

プラズマを使うALD(PEALD)の利点として正しいものはどれか。

  1. A成膜に高温が必須になる
  2. B1回で厚い膜が速く得られる
  3. C反応性の高いラジカルを使うため、熱ALDより低温で成膜でき、使える材料の幅も広がる
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正解：C. 反応性の高いラジカルを使うため、熱ALDより低温で成膜でき、使える材料の幅も広がる

PEALDでは、反応の段階でプラズマを使って反応性の高いラジカルをつくるため、熱だけで反応させる熱ALDより低い温度で成膜できます。熱では反応しにくい材料の組み合わせにも使えます。一方、深い構造の奥まではラジカルが届きにくく、段差被覆性は熱ALDに劣ることがあります。

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