成膜(CVD・PVD)

ALDの1サイクルで成膜される膜厚の目安として正しいものはどれか。

  1. A約1 µm
  2. B約0.1 nm(1原子層程度以下)
  3. C約100 nm
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正解：B. 約0.1 nm(1原子層程度以下)

ALDでは、1サイクルで成膜されるのは1原子層程度以下、およそ0.1 nm前後です。そのため、数nmの膜でも数十サイクルが必要になり、成膜速度は遅くなります。その代わり、サイクル数で膜厚を精密に制御できます。

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