박막 증착(CVD와 PVD)

실레인을 열분해하여 실리콘 막을 증착할 때, 성막 온도를 낮추면 만들어지는 막은 무엇인가?

  1. A단결정 실리콘
  2. B비정질 실리콘
  3. C이산화실리콘
정답과 해설 보기

정답: B. 비정질 실리콘

실레인의 열분해로 만든 실리콘 막은 대략 580 ℃보다 낮은 온도에서는 비정질이 되고, 그보다 높은 온도에서는 다결정(폴리실리콘)이 됩니다. 비정질로 성막한 뒤 600 ℃ 전후에서 장시간 열처리하면 핵이 적은 채로 결정이 성장하므로, 직접 성막한 막보다 결정립이 큰(이동도가 높은) 막을 얻을 수 있습니다. 액정 디스플레이의 박막 트랜지스터(TFT)에서는 레이저로 결정화하는 방법도 사용됩니다.

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