박막 증착(CVD와 PVD)

액상 재료를 웨이퍼 중심에 적하하고 고속으로 회전시켜 균일한 막을 만드는 방법을 무엇이라고 합니까?

  1. A스퍼터링
  2. B스핀 코팅
  3. C이온 주입
정답과 해설 보기

정답: B. 스핀 코팅

스핀 코팅에서는 액을 웨이퍼 중심에 적하하고 수천 rpm으로 회전시켜 원심력으로 퍼뜨린 뒤, 남은 액을 털어내어 균일한 막을 만듭니다. 막 두께는 대략 회전수의 제곱근에 반비례하며 액의 점도로 조정합니다. 웨이퍼 면내 편차를 수 nm 이내로 할 수 있으며, 포토레지스트 도포, 반사 방지막, 도포형 절연막(SOG), 폴리이미드 보호막 등에 사용됩니다. 액의 대부분이 털려 나가므로 사용 효율은 낮은 편입니다.

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