薄膜沉積（CVD與PVD） 將液狀材料滴在晶圓中心並高速旋轉以形成均勻薄膜的方法，稱為什麼？ A濺鍍 B旋轉塗佈 C離子植入 查看答案與解析 正確答案：B. 旋轉塗佈 旋轉塗佈是將液體滴在晶圓中心，以數千rpm旋轉，藉離心力使其展開並甩掉多餘液體，形成均勻的薄膜。膜厚大致與轉速的平方根成反比，並以液體的黏度調整。可將晶圓面內的不均勻性控制在數nm以內，用於光阻的塗佈、抗反射膜、塗佈型絕緣膜（SOG）、聚醯亞胺保護膜等。由於大部分液體被甩掉，使用效率偏低。