CMPの研磨パッドで、硬いパッドと柔らかいパッドの一般的な特徴の違いとして正しいものはどれか。

正解：C. 硬いパッドは平坦化の能力が高く、柔らかいパッドは傷や欠陥が少ない仕上げに向く

硬いパッドは表面の凸部を選んで削りやすく、広い範囲の平坦化に優れますが、傷がつきやすくなります。柔らかいパッドは表面になじんで傷や欠陥が少ない反面、凹部も削るため平坦化の能力は下がります。両者を積層したり使い分けたりします。

• A. 柔らかいパッドは凹部も削るため、平坦化の能力は下がります。
• B. パッドの硬さは研磨の結果に大きく影響します。
• C. 正しい。硬いパッドは平坦化、柔らかいパッドは仕上げに向きます。